隔膜泵是現在非常新穎的一種泵，它與普通泵類不同的是，它是執行器的主要類型，通過接受調制單元輸出的控制信號，借助動力操作去改變流體流量，常借助的動力有空氣，電動裝置，液體介質等。
1、氣動雙隔膜泵
氣動雙隔膜泵采用壓縮空氣、氮氣或天然氣作為動力。主定向（氣動）控制閥將壓縮空氣分配至氣體腔室，向隔膜的內表面上施加均勻壓力。同時排出的氣體從泵另一側后方通過氣閥組件導向端口排出。 氣動雙隔膜泵通過行程機械拉動吸入隔膜的移動氣動雙隔膜泵的內板與對準的驅動柱塞發生接觸，移動導向閥芯。導向閥激活后，便向主定向氣閥的另一端發出壓力信號，氣動雙隔膜泵使壓縮空氣方向改向內部腔室的另一側如此反復運動完成介質的連續輸送。
2、氣動單隔膜泵
氣動隔膜泵采用壓縮空氣為動力源，是一種由膜片往復變形造成容積變化的容積泵，其工作原理近似于柱塞泵。氣動隔膜泵其有四種材質：工程塑料、鋁合金、鑄鐵、不銹鋼。氣動隔膜泵根據不同液體介質分別采用丁腈橡膠、氯丁橡膠、氟橡膠、聚四氟乙烯、聚四六乙烯。
3、電動隔膜泵
電動隔膜泵上的電機通過減速箱帶動左右兩端柱塞上面的隔膜一前一后往復運動。在左右兩個泵腔內，裝有上下四個單向球閥隔膜的運動，造成工作腔內的容積的改變，迫使四個單向球閥交替地開啟和關閉，從而將液體不斷地吸入和排出。
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